40CrNi2MoA合金钢阴极电弧等离子沉积TiN/TiAlN薄膜及其性能

摘要：

以40CrNi2MoA钢作为基体,通过阴极电弧等离子体沉积(CPAD)技术制备了TiN、TiAlN和TiN/TiAlN薄膜.通过扫描电镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪、原子力显微镜、摩擦磨损试验、洛氏硬度计和电化学分析,对比了3种薄膜的组织结构、纳米硬度、表面粗糙度、耐磨性、附着力和耐蚀性.结果表明,TiN/TiAlN双层膜的综合性能最佳,其附着力为HF1级,摩擦因数为0.455,纳米硬度为36.59 GPa,表面粗糙度(Ra)为0.09μm.

关键词：合金钢、阴极电弧等离子体沉积、氮化钛、氮化铝钛、耐磨性、耐蚀性

所属期刊栏目：41

分类号：TQ153.2

资助基金：国家自然科学基金;浙江省教育科学规划课题;衢州市科技计划指导性项目;衢州市科技计划指导性项目

在线出版日期：2022-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1351-1355