基于COMSOL的圆平面磁控溅射靶的磁场研究

摘要：

为了提高靶面水平磁感应强度的均匀性,设计了一种内外永久磁铁以"内圆外方,外围圆"的方式排布的圆平面磁控溅射靶阴极结构,并利用COMSOL软件对其磁场进行仿真模拟,再通过实验测量进行验证.实验验证的结果和仿真模拟的结果基本一致.圆平面磁场分布均匀,并且满足溅射磁感应强度为20～50 mT的基本要求,靶材利用率可达40％～50％,而且散热能力得到一定程度的提高.

关键词：磁控溅射、圆柱靶、磁场分布、有限元分析、仿真

所属期刊栏目：41

分类号：O441.3(电磁学、电动力学)

资助基金：陕西省教育厅重点实验室项目;陕西省教育厅专项科研计划项目

在线出版日期：2022-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1189-1196