温度对电弧离子镀CrN过程等离子体状态及涂层结构和力学性能的影响

摘要：

先采用发射光谱法分析了在不同温度下电弧离子镀CrN涂层过程中的等离子体状态,并在假设局部热力学平衡的条件下计算了等离子体密度,用玻尔兹曼作图法计算了等离子体温度.根据Cr靶弧光放电特点选择镀膜工艺,在不同温度下制备了CrN涂层,并研究了其微观结构和力学性能.结果表明:随着温度升高,光谱强度先升高后降低,在350℃下电弧离子镀时等离子体光谱强度、等离子体密度及等离子体温度均最高,所得CrN涂层最致密.450℃时所得CrN涂层的纳米硬度和弹性模量都最高,力学性能最优.

关键词：氮化铬、电弧离子镀、温度、等离子体、发射光谱

所属期刊栏目：41

分类号：TQ153.2

资助基金：国家自然科学基金;广东省重点领域研发计划项目;广东省自然科学基金;广州市科技项目;广州市科技项目;广州市青年科技人才托举项目

在线出版日期：2022-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：934-941