10.19289/j.1004-227x.2021.19.007
AZO基双层/多层薄膜的制备及性能
采用磁控溅射法在普通钠钙浮法玻璃表面先获得厚度为50 nm的AZO(掺铝氧化锌)底层,然后制备出不同Ag层厚度(4、6、8或10 nm)的Ag/AZO双层膜以及不同AZO顶层厚度(10、30、50或70 nm)的AZO/Ag/AZO多层膜,考察了它们的表面形貌、晶体结构、方块电阻、透光率和品质因子.结果表明,Ag层厚度为6 nm时,Ag/AZO双层膜表面Ag粒子分布均匀,致密度较好,晶粒尺寸最大,综合性能最佳.在此双层膜的基础上沉积50 nm厚的AZO顶层可以较好地覆盖Ag层,提高薄膜的致密度,令晶粒尺寸明显增大,得到综合性能最佳的AZO/Ag/AZO多层膜.
掺铝氧化锌薄膜;磁控溅射;银层;厚度;方块电阻;透光率;品质因子
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TG174.444(金属学与热处理)
国家自然科学基金;江苏大学科研课题立项资助项目
2021-11-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
1494-1500