综述金属掺杂对类金刚石薄膜结构和性能的影响

摘要：

类金刚石(DLC)薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,但薄膜内部有很高的残余应力,与基体结合强度较低,这大大的限制了DLC薄膜的厚度与应用范围.通过金属掺杂可有效调控DLC薄膜的力学、摩擦学、生物学等方面的性能.根据金属元素在非晶碳基质中的存在形式,将金属掺杂类金刚石薄膜(Me-DLC)分为两类:弱碳金属掺杂类金刚石薄膜(如 Al-DLC 和Ag-DLC)和亲碳金属掺杂类金刚石薄膜(如Ti-DLC和Cr-DLC).根据目前已有的研究,对这两类Me-DLC的结构和性能进行了归纳及分析.

关键词：类金刚石薄膜、金属掺杂、内应力、摩擦学、综述

所属期刊栏目：38

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：广东省科学院人才资助专项2018GDASCX-0948;广东省自然科学基金项目2018A030313660;广州市科技计划项目201904010261, 201804010165;广东省科技计划项目2017A070701027,2014B070705007;广东省科学院科技提升项目2017GDASCX-0111,2018GDASCX-0111

在线出版日期：2019-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：826-832