MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜的制备及其高温抗微动磨损性能

摘要：

为了改善钛合金表面的高温抗微动磨损性能,采用非平衡磁控溅射技术在TC4钛合金表面沉积了总厚度约为6μm的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层固体润滑膜,并与单层MoS2-Ti与Cu-Ni-In膜进行对比.利用扫描电镜、压痕仪、X射线衍射仪、维氏显微硬度计、微动摩擦磨损试验机和三维表面轮廓仪对固体润滑薄膜的形貌、结合强度、物相、显微硬度、350°C下的微动磨损行为和磨痕形貌进行分析.结果表明,所制备的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜交替结构清晰,致密,在12000个微动循环周期后的摩擦因数稳定在0.266左右,最终磨损总量为0.357 mm3,都比2种单层膜小,具有良好的高温抗微动磨损性能.

关键词：钛合金、二硫化钼、铜-镍-铟合金、多层膜、磁控溅射、微观结构、微动磨损

所属期刊栏目：37

分类号：TG174.444;TH117.1(金属学与热处理)

资助基金：广东省科学院实施创新驱动发展能力建设专项2018GDASCX-0113;广州市科技计划项目201510010016

在线出版日期：2019-01-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：988-993