大尺寸触控面板用铜布线薄膜的制备

摘要：

介绍了一种高透光、电阻小，可用于触摸面板大型化的透明导电性薄膜的制造工艺，即在 PET(聚对苯二甲酸乙二酯)薄膜上形成肉眼不可见的铜网。其工艺流程主要包括低温等离子体表面清洗，磁控溅射Ni-Cr过渡层及Cu植晶层，硫酸盐镀铜层，光刻。所得铜布线薄膜的性能超过了一般ITO(氧化铟锡)膜的性能。

关键词：触控面板、铜布线薄膜、聚对苯二甲酸乙二酯、磁控溅射、电镀铜、光刻、表面电阻

分类号：TQ153.14

在线出版日期：2014-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：296-298