液相等离子体电沉积制备类金刚石薄膜

摘要：

采用等离子体电沉积法在水-乙醇电解液中制备了类金刚石(DLC)薄膜,工艺条件为:乙醇和水的体积比4∶1,KCl3 g/L,电流密度500 ～ 800mA/cm2,电压1 500V,时间4h.研究了电流密度和电极间距对DLC薄膜的显微硬度、厚度和表面形貌的影响.结果表明,电流密度和电极间距都对电极表面气泡区域厚度、均匀程度、稳定性及电极表面电荷密度有较大影响,适宜的电流密度和电极间距分别为600～700mA/cm2和6～10mm.采用较佳工艺制得的DLC膜表面平整均匀,为多晶结构,摩擦因数约为0.13.

关键词：类金刚石薄膜、等离子体电沉积、电流密度、极间距

所属期刊栏目：32

分类号：TQ153.3

资助基金：湖南省自然科学基金重点项目;湖南省科技计划

在线出版日期：2014-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4