化学镀铜技术的最新进展
概述了国内外关于超级化学镀铜填充技术的最新研究成果,主要包括应用于半导体铜互连线工艺的化学镀铜和以次磷酸钠作还原剂的无甲醛化学镀铜.介绍了不同添加剂在超级化学镀铜填充中的作用机理以及存在的问题,并提出了今后的研究方向.
超级化学镀铜、铜互连、次磷酸钠、无甲醛
27
TG178(金属学与热处理)
国家自然科学基金;陕西省自然科学基金
2008-07-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
22-25,29
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超级化学镀铜、铜互连、次磷酸钠、无甲醛
27
TG178(金属学与热处理)
国家自然科学基金;陕西省自然科学基金
2008-07-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
22-25,29
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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