化学沉积纳米晶Co-P合金及其沉积速率影响因素的研究

摘要：

化学沉积可得到均匀、致密的纳米晶薄膜,是一种较为理想的纳米晶制备方法.采用正交实验优化了化学沉积纳米晶钴磷合金的工艺配方,研究了正交实验5因素如硫酸钴、柠檬酸三钠、硼酸、次磷酸钠和温度及负载因子、沉积时间对沉积速度的影响.研究获得的优化工艺配方和参数为:0.06～0.12 mol/L CoSO4·7H2O,0.40～0.55 mol/L NaH2PO2·H2O,0.15～0.3 mol/L Na3C6H5O7·2H2O,0.3～0.6 mol/L H3BO3,50～80 ℃,负载因子0.4～0.8 dm2/L.

关键词：钴磷合金、化学沉积、纳米晶、沉积速率

所属期刊栏目：23

分类号：TQ153.2;TG178

资助基金：安徽省自然科学基金00046403

在线出版日期：2004-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5