10.3969/j.issn.1000-4742.2014.02.007
电子线路板微沟槽脉冲镀铜填充工艺的研究
以布刻有微沟槽结构的电子线路板为芯模,依次采用化学镀铜和脉冲镀铜的方法,金属化填充微沟槽,实现导通互连.借助工具显微镜和扫描电镜观察发现:镀铜层较平整、连续,且基本覆盖微沟槽底面,仅出现轻微漏镀状况;此外,镀铜层晶粒细致且结构致密,间接表明其电阻率较低,导电性能较好.
镀铜填充、微沟槽、电子线路板、漏镀
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TQ153
2014-04-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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