添加剂对纳米晶铜膜微观结构及纳米压痕性能的影响

摘要：

采用电刷镀技术制备不同晶粒尺寸的纳米晶铜膜.利用透射电子显微镜分析电刷镀纳米晶铜膜的微观结构,计算晶粒尺寸范围；利用UNMT-1型纳米力学综合测试系统对电刷镀纳米晶铜膜进行室温纳米压痕实验.由实验可知,添加剂对纳米晶铜膜的晶粒尺寸和压痕硬度均有较大的影响.在添加剂45 g/L务件下,平均晶粒尺寸最小为32 nm左右,压痕硬度为3.26 GPa;在添加剂1 g/L条件下,平均晶粒尺寸增大到150 nm左右,压痕硬度减小为1.72 GPa.

关键词：纳米晶铜膜、微观结构、纳米压痕

所属期刊栏目：33

分类号：TQ153

资助基金：吉林省教育厅"十一五"科学技术研究项目[项目吉教科合字2010第88号

在线出版日期：2013-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：10-12