真空镀TiO2薄膜的生产

摘要：

采用ZDL-2051型真空镀膜机,用真空蒸发沉积方法制备环保材料TiO2薄膜,并用扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色散谱仪对其表面形貌及成分分别进行了观察、分析和表征.结果表明,薄膜表面均匀、致密、无裂痕.研究了TiO2薄膜的制备和生产工艺.

关键词：真空蒸发镀膜、TiO2薄膜、制备

所属期刊栏目：27

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2007-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：40-41