基于交流电桥的动态微弱电容检测电路

摘要：

基于MEMS技术研制的微电容超声传感器,在超声波作用下其有效电容的变化量仅为飞法级,且变化速度非常快,检测很困难.本文提出的半桥式交流电容检测电路能把快速变化的电容信号转换为电压信号,并加载到高频正弦激励信号中,再通过放大、解调、滤波得出电容变化量.该电路能很好地抑制寄生电容的影响,有良好的线性和稳定性,在200kHz的超声波作用下灵敏度可以达到2.8mV/fF,基本满足对超声传感器电容变化量的检测.

关键词：超声传感器、交流电桥、微弱电容、动态检测电路

所属期刊栏目：49

分类号：TM935;TN721.5

资助基金：国家自然科学基金专项基金资助项目61127008

在线出版日期：2012-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：89-92