10.3969/j.issn.1001-1390.2007.11.017
基于Sigma-Delta技术的差分电容检测电路设计
接口电路是悬浮转子微陀螺研制中的关键技术之一.本文对静电悬浮转子微陀螺的差分电容结构建立其简化数学模型,并结合Sigma-Delta技术的优点提出了一种新颖的闭环检测电路.该检测电路能够直接输出数字信号,系统稳定性好,对陀螺失效具有自检特性并且能够有效避免陀螺的锁住.与通常采用的调制解调方法相比,该检测电路大大节省了器件,因此非常适用于对微陀螺原型进行测试评估.对该检测电路的仿真结果表明,其灵敏度为2V/g,动态范围约为1g.
Sigma-Delta、MEMS、静电悬浮、微陀螺、闭环检测
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TM934.2
国家自然科学基金60402003;总装备部预研项目9140A09020706JW0314
2008-03-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
59-61,58