深亚微米飞高测量的光电检测系统设计

摘要：

基于光电传感原理,设计了用于深亚微米飞高测量的光电检测系统,采用前置放大和后级放大电路结合,设计高速高精度数据采集系统,介绍了系统控制交互界面.性能测试结果表明,该光电检测系统线性度、分辨率和动态频率均满足飞高动态测试的要求.

关键词：高测量、近场光存储、光电检测、微弱信号

所属期刊栏目：43

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：广东省博士启动基金20020003015

在线出版日期：2006-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-7,19