射频放电电参数的测量

摘要：

通过自行研制的传感器,结合网络分析理论,采用数字与计算机技术实现对射频放电电压、电流、相位及功率的测量,除可广泛应用于射频放电的电压、电流、相位及功率测量外,还可对射频放电负载特性及等离子体的伏安特性进行研究与分析.

关键词：(■)放电、电压、电流、相位角

所属期刊栏目：37

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：25-27