NdFeB基底温度对TiN防护膜耐腐蚀性的影响

摘要：

在钕铁硼(NdFeB)稀土永磁体腐蚀防护过程中,针对基底温度对TiN防护膜防护效果影响较大的问题,采用磁控溅射技术在NdFeB永磁体表面沉积TiN防护膜,通过场发射扫描电镜(FESEM)、X射线衍射(XRD)、电化学检测及永磁无损检测等手段对样品进行表征,分析基底温度对TiN膜微观结构及腐蚀防护性能的影响.结果表明:基底温度对TiN薄膜性能影响较大,温度的升高有助于晶粒生长,TiN(111)晶面取向更加明显;腐蚀测试结果显示基底温度300℃时耐腐蚀性最强,但磁性能损失最大.基底温度在100℃时TiN膜层的耐腐蚀性能较强,磁性能损失较小,对基底具有最佳的防护效果.

关键词：磁控溅射;TiN;基底温度;耐腐蚀性;磁性能

所属期刊栏目：42

分类号：TM273;TB304(电工材料)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项资金资助项目;辽宁省科技重大专项;辽宁省稀土永磁材料专业技术创新中心/2019年度沈阳市高层次人才创新创业团队项目

在线出版日期：2021-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1562-1568