基于动态温度调制的氧化锌纳米气体传感器敏感特性分析

摘要：

采用水热法制作了纳米氧化锌气敏材料,分析了双溶剂洗涤和水洗涤下的成品形貌,并采用传统的静态测试方法测试了灵敏度、稳定性及响应/恢复时间等特性参数.针对金属氧化物气体传感器的选择性和稳定性问题,基于静态测试,提出了一种新颖的动态温度调制测试方法.系统研究了不同波形(三角波、矩形波及梯形波)下传感器的响应,并分析了三角波下对称性的影响及基于梯形波下干扰气体和幅值对传感器响应的影响.研究成果可为人工智能产业前端的精确感知器件提供技术基础.

关键词：气体传感器、半导体金属氧化物、氧化锌、动态温度调制、波形分析

所属期刊栏目：42

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61973058

在线出版日期：2021-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：469-477