溅射离子泵抽气单元放电及离子输运仿真

摘要：

基于有限元法,对溅射离子泵抽气单元内气体放电及离子输运过程进行了研究.采用商业软件COMSOL Multiphysics将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到阳极筒内电子密度的分布规律.研究了气体压强、阳极电压、磁场强度等参数对电子密度的影响,追踪了离子在不同压强下的运动轨迹,得到了离子对阴极板的入射角度和冲击能量.将仿真结果代入到理论抽速计算公式中,所得结果与实验数据进行对比,两者具有很好的一致性,验证了仿真模型的准确性.对离子泵结构设计和性能优化提供了一种适用方法.

关键词：溅射离子泵、离子输运、多物理场耦合、仿真分析、抽气速率

所属期刊栏目：41

分类号：TB752(真空技术)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2017YFF0105801

在线出版日期：2020-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：962-967