基于NiO纳米薄膜的NO2传感器

摘要：

以四水合乙酸镍(NiC4H6O4·4H2O)、氨水(NH3·H2O)和乙二醇甲醚(C3H8O)为前驱体,采用溶胶–凝胶提拉涂膜法制备NiO纳米薄膜,考察了提拉速度与涂膜层数对NiO纳米薄膜形貌结构与NO2气敏特性的影响.结果表明,在提拉速度为400μm/s,涂膜层数为2层的条件下可获得表面形貌均一、疏松多孔的NiO纳米薄膜,其主要由直径为20～30 nm面心立方结构的NiO晶体颗粒构成.气敏检测结果表明,NiO纳米薄膜呈现p型半导体特性,在工作温度150℃条件下对NO2表现出良好的响应-恢复特性与可逆性,并对其气敏机理进行了探讨.

关键词：NiO纳米薄膜、溶胶—凝胶法、NO2、气敏特性、气敏机理

所属期刊栏目：39

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51422402, 51674067;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目N150101001, N160106004

在线出版日期：2019-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1769-1773