复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响

摘要：

建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型。依据该理论模型，在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下，对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究。结果表明：压缩比随螺旋槽深的减小，先增加后减小，存在最优螺旋槽深，使牵引级的压缩比达到最大；螺旋升角对最优螺旋槽深影响较小；最优螺旋槽深随转子-定子间隙减小而减小，随转子转速的增加而增加；当被抽气体为黏滞流时，最优槽深值更小。

关键词：复合分子泵、牵引级、理论模型、压缩比、最优槽深

所属期刊栏目：37

分类号：TB752(真空技术)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ130429．

在线出版日期：2016-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1437-1440