考虑多晶圆流的集束型设备群调度方法

摘要：

为有效解决集束型设备群多品种晶圆调度问题,构建考虑多晶圆流集束型设备群调度算法.统筹考虑多晶圆流、驻留和资源约束等特征,并以系统Makespan最小为目标,建立数学模型.集束型设备群调度分解为外层晶圆序列决策和内层机械手调度两个阶段,采用蚁群寻觅结合双向搜索策略,将蚁群算法融合到晶圆时间约束集搜索算法迭代过程中.在此基础上,提出了AS&TC(ant systems and time constraints)调度算法.对该调度算法进行仿真实验分析,结果表明该算法的有效性.

关键词：集束型设备群、多晶圆流、驻留约束、时间约束集、启发式算法

所属期刊栏目：37

分类号：TP29(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目71471135,61273035

在线出版日期：2016-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：697-701