整体式半导体自动物料搬运系统解死锁算法

摘要：

为了有效地解决300 mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统的设备缓冲约束引起死锁的问题,构建了基于图论的两阶段解死锁算法.首先对问题域进行了形式化描述,在此基础上,证明了死锁产生和解除的充分条件,以关键设备死锁解除时间最小化为目标,建立了数学规划模型,并构造了解死锁算法.该启发式算法使用存储柜转存晶圆批来释放死锁的小车资源,并应用图论理论构造了多个并行路径来解除死锁.最后,对算法进行了仿真实验,结果表明该算法能有效求解设备缓冲约束引起的死锁问题.与其他解死锁方法相比,上述算法能有效减少解死锁时间,提高了关键设备的可用率.

关键词：死锁、自动物料搬运系统、整体式布局、图论、缓冲约束

所属期刊栏目：35

分类号：TP27(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61273035;2013"大型智能化装卸码头"智能制造装备发展专项

在线出版日期：2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1183-1189