TeO2纳米线的制备及其室温NO2气敏特性

摘要：

以金属Te颗粒为原料,采用热蒸发法于镀金硅基板表面制备出TeO2纳米线,并以其为气敏材料制备成气敏元件.采用XRD,SEM和TEM表征TeO2纳米线的相组成和微观结构,结果表明,TeO2纳米线具有单一的四方相晶体结构,长度约为几十微米,直径约为80～ 600 nm.在TeO2纳米线的顶端未发现Au颗粒,表明TeO2纳米线按照气-固机制进行生长.气敏特性的研究结果表明,TeO2纳米线呈现p型半导体特性,在室温条件下对NO2气体具有良好的响应,气体灵敏度与NO2气体体积分数呈线性增加关系.最后对气敏机制进行了初步探讨.

关键词：二氧化碲、纳米线、二氧化氮、气体传感器、气敏特性

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分类号：TN304.92(半导体技术)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项资金资助项目N120501002;辽宁省高等学校优秀人才支持计划项目LJQ2013025;教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20130042120033;教育部留学回国人员科研启动基金资助项目47-3;东北大学引进人才科研启动项目26333008

在线出版日期：2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1019-1022