10.3969/j.issn.1005-3026.2013.09.021
带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法
为了有效解决集束型晶圆制造设备群加工过程中存在的重入调度问题,构建了带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.首先分析了双集束型晶圆制造设备中重入约束特征.在此基础上,建立调度问题域,并以系统加工周期最小为目标,建立调度模型.采用分解策略,将双集束型晶圆制造设备调度问题分解成单个设备调度问题,并提出了一种全新的机械手调度顺序搜索的启发式算法.最后对调度算法进行仿真实验分析,结果表明该算法是有效的.
集束型设备群、调度、重入约束、算法、仿真实验
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TP391.9(计算技术、计算机技术)
国家自然科学基金资助项目61273035,71071115
2015-07-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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