数控辅助超精密定位工作平台的研究

摘要：

在超精密加工中,需要亚微米乃至纳米级的定位,而常规的伺服电机驱动、精密滚珠丝杠传动方案的定位精度一般只能达到微米级,为提高数控进给装置的定位精度,在原有伺服进给定位装置的基础上,总结现有微定位补偿机构设计的不足,提出新的闭环伺服精密微位移补偿控制方案,以显著减小数控伺服进给装置的定位误差.设计的压电驱动微定位工作台具有纳米级位移分辨率和定位精度,静、动刚度好.试验表明,本系统设计的10 μm行程微定位平台能很好地补偿数控滚珠丝杠副定位偏差,实现超精密加工的超精密进给要求.

关键词：微定位、TMS320F28335、电涡流、高精数据采集、进给装置

所属期刊栏目：34

分类号：TG663

资助基金：辽宁省自然科学基金资助项目20102067;沈阳市科技局重点科技攻关项目F11-008-2-00;沈阳市科技局工业科技攻关项目F11-001-2-00

在线出版日期：2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：875-879