射频负偏压等离子体鞘层流体动力学模拟

摘要：

采用流体动力学方法建立了一种自洽的无碰撞射频直流偏压等离子体鞘层动力学模型.模型中考虑了极板直流负偏压对离子运动的影响,模拟了在不同偏压条件下射频等离子体鞘层内各参量的时空演化特性.在该模型中,认为鞘层厚度是与时间有关的函数,并采用等效电路模型建立了鞘层瞬时厚度与鞘层电位降的关系.模拟结果表明,极板上电势呈非正弦周期性变化;鞘层厚度变化与极板电势变化周期相同,趋势相反,且略滞后于射频周期.

关键词：射频等离子体、直流负偏压、无碰撞、鞘层、流体动力学模型

所属期刊栏目：29

分类号：TB79(真空技术)

资助基金：辽宁省自然科学基金资助项目20062029;沈阳市科技基金资助项目1053125-1-24;沈阳市科学技术计划项目1071196-1-00

在线出版日期：2008-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：881-884