CVD法制取Fe-6.5%Si薄板的扩散工艺计算机模拟

摘要：

在分析CVD法渗Si制备Fe-6.5%Si合金薄板的实际工艺要求基础上,择定了母材的Si含量、扩散温度及气氛浓度.利用计算机模拟研究了在所确定条件下对一定厚度样品实施单步扩散和两步扩散的最佳处理工艺.模拟计算结果与实验符合较好.

关键词：Fe-6.5、Si、CVD法、扩散、计算机模拟

所属期刊栏目：20

分类号：TG156.83(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59671033;辽宁省优秀青年科技人才基金973005;中-法合作项目PRAMX97-04

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：405-407