液相外延法制备的掺杂石榴石单晶薄膜

摘要：

以高纯氧化物为原材料,采用液相外延法(LPE)制备直径3英寸、厚度20 μm以上的掺杂钇铁石榴石(YIG)单晶薄膜,通过离子掺杂对薄膜的饱和磁化强度进行调控,范围为800～1750 G.X射线衍射分析表明薄膜仅有单一衍射峰,且半高宽值约为0.007°.磁性能测试结果表明,制备的薄膜饱和磁化强度可宽幅调控,且呈现明显的平面磁各向异性.同时对薄膜的截面及表面形貌进行观测,发现薄膜与衬底间界面清晰,薄膜表面粗糙度小于1 nm,离子掺杂均匀,为后续的器件应用打下良好的基础.

关键词：石榴石单晶薄膜、液相外延、离子掺杂、饱和磁化强度

所属期刊栏目：54

分类号：TM277(电工材料)

在线出版日期：2023-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21