应变敏感的柔性自旋阀器件制备与输运特性

摘要：

利用超高真空磁控溅射系统,通过改变生长气压、生长功率等制备了矫顽力小、方形度好的FeCo、FeGa磁性薄膜.以FeCo作为自由层,并在其引入大磁致伸缩系数材料FeGa,获得具有FeCo/FeGa复合自由层的自旋阀结构.通过优化薄膜厚度获得了磁电阻比5.9%、自由层矫顽力34 Oe的最佳综合磁性能.将具有复合自由层的自旋阀结构制备在柔性聚对苯二甲酸乙二酯衬底上,在接近2%的拉应变作用下,器件有良好的应变响应,其磁电阻比从5.9%几乎线性地降至4.9%,因此可以用于柔性应变传感器.

关键词：柔性自旋阀、磁性薄膜、磁控溅射、巨磁电阻、磁致伸缩

所属期刊栏目：48

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2017-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5