一种新型RF-MEMS微天线的设计与实现

摘要：

针对13.56MHz RFID系统大面积平面螺旋线圈天线存在的缺陷，提出了一种用于13.56MHz频段的新型RF-MEMS微天线，并使用HFSS软件进行了仿真和设计，同时采用MEMS工艺实现器件制作。该微天线由螺线管线圈及高性能铁氧体薄膜组成，总体尺寸小于10mm×6.7mm×0.46mm。该微天线灵敏度达到了36.2mV/μT，使用电感值为1.6μH的读卡器线圈与匹配谐振后的微天线进行耦合，在6mm处该微天线的谐振电压达到7.1V，同时将集成了标签芯片及谐振电容的微天线与符合 ISO14443标准的读卡器进行通信，其通信距离达到12mm。

关键词：射频识别(RFID)、微机电系统(MEMS)、微天线、仿真、设计

分类号：TN820.1(无线电设备、电信设备)

在线出版日期：2014-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：37-40,73