FeCoAlN软磁薄膜的制备与性能

摘要：

采用磁控溅射法在Ar+N2的混合气氛中制备FeCoAlN薄膜，并对其进行磁场真空热处理，以研究薄膜的结构、磁性及热稳定性。当N2与(N2+Ar)的流量比为9%时制备的薄膜具有良好的软磁性能。随着Al含量的增加，薄膜的热稳定性明显得到改善。Al 含量为13.5%的(Fe64.8Co35.2)AlN 薄膜在400℃真空磁场热处理60min，仍然具有良好的软磁性能，其饱和磁化强度μ0Ms为1.2T，易轴矫顽力为0.68kA/m，各向异性场为2.8 kA/m。

关键词：FeCoAlN薄膜、制备、结构、磁性能、热稳定性

分类号：O484.4+3(固体物理学)

在线出版日期：2014-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-49