退火对溶胶-凝胶法CoFe_2O_4薄膜结构与磁性的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶法在Si(001)基片上制备了CoFe_2O_4(CFO)薄膜,对样品进行不同温度的快速退火处理,并采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、振动样品磁强计(VSM)对薄膜进行微结构与磁性能分析.结果表明,薄膜退火温度在450℃及以上时生成无择尤取向的单一尖晶石相.随着退火温度上升,薄膜的晶化程度增高,Ms增大.650℃左右退火薄膜晶粒达到单畴临界尺寸,导致Hc随着退火温度的继续上升而逐渐下降.EDS分析表明,成膜后的化学计量比偏移很小.

关键词：CoFe_2O_4薄膜、溶胶-凝胶法、结构、磁性、成分

所属期刊栏目：40

分类号：TM277~+.1;O484.4~+3(电工材料)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973项目51613Z

在线出版日期：2010-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-30,43