10.3969/j.issn.1001-3830.2005.01.011
磁性微电子机械系统(MMEMS)中的关键问题
磁性微电子机械系统(MMEMS)是在传统的微电子机械系统(MEMS)基础上发展的,它在科学研究及应用领域中有着巨大的潜力.磁性材料和MEMS技术的兼容性问题此前已作为一个重要的问题论述过.本文就磁性MEMS技术中的线圈制作、软磁膜制备及硬磁膜制备等关键性问题加以概述.
磁性MEMS、线圈、磁膜
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TP212.13(自动化技术及设备)
2005-03-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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