热处理温度对NdFeB稀土永磁薄膜磁性能的影响

摘要：

采用直流磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜,并对其进行了退火热处理,主要考察了热处理温度对薄膜磁性能的影响.结果表明,热处理后的薄膜磁性能显著提高,随热处理温度的升高,薄膜的磁性能逐渐升高,但当温度上升到700℃时,薄膜的磁性能迅速下降.在热处理温度为650℃时,薄膜的最佳磁性能为,矫顽力Hc=650kA/m,剩余磁感应强度Br=0.72T,最大磁能积(BH)max=74kJ/m3.

关键词：直流磁控溅射、NdFeB永磁薄膜、退火、磁性能

所属期刊栏目：35

分类号：TM274;O484.4+3(电工材料)

在线出版日期：2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：18-20