10.3969/j.issn.1001-3830.2003.01.001
溅射氩气压对TbFeCo薄膜磁和磁光性能的影响
研究了射频磁控溅射的溅射氩气压的变化对TbFeCo薄膜的磁和磁光特性的影响,以及不同溅射氩气压下TbFeCo薄膜退火后的特性.溅射氩气压的变化通过改变表面状态影响TbFeCo薄膜矫顽力和克尔角,另外,溅射氩气压的变化会影响被溅射原子轰击薄膜的速度,从而影响TbFeCo薄膜的垂直磁各向异性、矫顽力、磁光克尔效应.
TbFeCo薄膜、射频磁控溅射、氩分压、磁光特性
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O484.4+3(固体物理学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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