X射线三维显微镜及其典型应用

摘要：

X射线三维显微镜(显微CT)是目前发展最热门、成长最快的CT成像技术门类之一,在微纳制造技术、新材料以及电子科学等领域起着十分重要的作用并得到广泛的应用.X射线三维显微镜能够以亚微米的细节分辨能力对被检测对象内部结构进行无损的三维成像,是一种新型的检测设备.本文介绍了三英精密仪器有限公司研制的nanoVoxel-2000系列X射线三维显微镜的结构和工作原理,展示了该仪器在系统设计、成像方法及应用分析方面的特色.该系列的X射线三维显微镜最大管电压为150kV,采用5μm的微焦源实现低于500 nm的成像分辨率,能够进行不同尺寸样品、不同分辨率的成像.在此基础上,探讨了X射线显微镜的典型应用,主要对样品的内部结构、形貌进行表征.希望典型应用的实例能起到抛砖引玉的作用,吸引更多学者利用X射线三维显微成像技术开展科学研究,拓宽X射线三维显微镜的应用领域.

关键词：X射线三维显微镜、X射线CT、显微CT、复合材料、岩石、玻璃纤维

所属期刊栏目：23

分类号：TG115.21+5.5(金属学与热处理)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2011YQ030112:X射线三维显微成像检测系统研制与应用开发.

在线出版日期：2015-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：967-977