10.3969/j.issn.1674-8042.2017.03.010
一个由步进电机驱动的3支点扫描探针显微镜基座
设计了一个由3个步进电机驱动的扫描探针显微镜(Scanning probe microscope,SPM)基座.这个基座比普通的由一个电机驱动的基座要灵活,但基座的控制也相对复杂.基座的3个电动机由一个Arduino单片机来控制.在Arduino单片机里面还设计了一个状态机,通过这个状态机单片机与电脑上位机和一个射频遥控器进行通信.另外,本项目还用两个5状态LED来显示有限状态机(Finite state machine,FSM)的不同状态以及电动机和基座的运动状态.最后,通过测试和调试,本基座在Z方向上能实现700纳米的机械控制分辨率.
扫描探针显微镜、步进电机、射频控制、LabVIEW
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TM383.6(电机)
2017-11-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
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