10.3979/j.issn.1673-825X.202108010266
SiO2/IDT/AlN/Diamond多层结构中声表面波传输特性的有限元分析
基于COMSOL软件对SiO2/IDT/AlN/Diamond多层结构中声表面波(surface acoustic wave,SAW)传输特性进行有限元(finite element method,FEM)分析.深入分析了多层结构中声波的色散特性,直观地展现了表面波向漏表面波的转化过程,研究了Al电极层厚度和SiO2缓冲层厚度对声表面波的影响.基于微加工工艺研制出一系列不同结构的声表面波谐振器,并对其频率响应特性进行了测试.测试结果与仿真结果基本一致,其中,1阶模式的声表面波表现出较好的应用潜力,可用于声表面波滤波器的研制.
声表面波;有限元仿真;多层结构
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TN256;O426.2(光电子技术、激光技术)
The National Key R&D Program of China2018YFB2101002
2021-11-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共9页
714-722