掺Fe3+TiO2薄膜型氧气传感器研究

摘要：

讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理,重点分析了掺铁对氧敏特性的影响.设计出了基于Ti02薄膜结构氧气传感器,通过硅工艺制作了Fe3+掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400℃下对传感器的氧敏特性进行了测试.实验结果表明,该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应,且具有低电阻的特性.

关键词：Ti02、Fe3+、氧气传感器、薄膜气敏传感器

所属期刊栏目：23

分类号：TN37(半导体技术)

资助基金：工信部电子产业发展基金;网络化控制与智能仪器仪表教育部重点实验室开放基金2009F01

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：443-446