10.3969/j.issn.1673-825X.2003.01.021
微电子工艺可靠性研究
可靠性是产品质量的重要组成部分,微电子工艺可靠性是保证IC产品可靠性的关键一环.从IC生产环节考虑,详细讨论了微电子工艺可靠性及其保证措施,重点讨论了原材料控制、设备与工艺控制及洁净环境控制的重要性,这些因素是生产高可靠性IC产品的有力保证.
可靠性、微电子、集成电路
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TN406(微电子学、集成电路(IC))
2004-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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