P型ZnO薄膜的制备及特性研究

摘要：

@@ ZnO是一种新型的自激活宽带隙半导体材料,是一种理想的短波长发光器件材料,在光电子、高温大功率器件、高频微波器件以及信息技术领域等方面有着广阔的应用前景,实现和控制高质量P型掺杂是ZnO薄膜光电子应用的关键.

关键词：离子注入、P型ZnO薄膜、退火、射频磁控溅射

所属期刊栏目：24

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：重庆市自然科学基金AC4034;重庆市教委资助项目KJ050812

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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