薄膜生长与原子尺度的计算机模拟

摘要：

总结了近年来多篇文献报道的新现象,在传统公认的薄膜生长过程与模式基础上,进行了补充和完善.介绍了计算机模拟薄膜生长的多种模型与方法及其应用特点,包括了分子动力学模型、蒙特卡洛模型、动力学蒙特卡洛模型以及具有发展潜力的量子力学模型.简介了当前国内外计算机模拟薄膜生长的研究现状.

关键词：薄膜生长、模型、计算机模拟

所属期刊栏目：19

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6