金属表面处理用混合硅烷体系中硅烷水解度的测定

摘要：

硅烷工作液的水解度数据可为建槽过程中浓缩液稀释倍数以及硅烷工作液循环利用研究提供重要依据.以双-(3-三甲氧基硅基丙基)胺(BAS)和乙烯基三乙酰氧基硅烷(VTAS)的混合体系为研究对象,异丙醇为内标物,采用气相色谱内标法对BAS/VTAS体系中两种硅烷的水解产物CH3OH和CH3COOH的浓度进行精确定量,并通过计算得到两种硅烷的水解度数据.该方法的有效性采用红外光谱法、极化曲线和CuSO4点蚀法进行验证.结果表明:气相色谱法能够有效、快速地表征BAS/VTAS混合体系中两种硅烷的水解度,其结果可作为硅烷水解液性能评判的定量依据.

关键词：硅烷、水解度、表面处理、气相色谱、内标法

所属期刊栏目：40

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：教育部高等学校博士学科点专项科研基金20120191120042;中央高校基本科研业务费科研专项CQDXWL-2013-017.Supported by Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education of China20120191120042;Fundamental Research Funds for the Central UniversitiesCQDXWL-2013-017

在线出版日期：2017-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：70-77