Dog Bone栅型MOS场效应晶体管的等效宽长比计算

摘要：

Dog Bone栅型MOS场效应晶体管是一种对称性的、防辐射总剂量效应的版图结构.为了计算其等效宽长比,把它划分为常规结构的主MOS晶体管和非常规结构的边缘MOS晶体管2种类型的并联.借助Silvaco TCAD工艺与器件仿真工具构建了它的模型,分析了主MOS晶体管的宽度、长度和边缘MOS晶体管的多晶硅与有源区的交叠宽度对边缘MOS等效宽长比的影响,得到拟合的Dog Bone栅型MOS晶体管等效宽长比的计算公式.采用CSMC 0.5 μm DPTMCMOS混合信号工艺制作了样管,对实验测量值和公式计算值进行比较,Dog Bone栅型MOS场效应晶体管的等效宽长比的计算公式与实验能够较好地吻合.

关键词：Dog Bone MOS、防辐射加固、器件仿真

所属期刊栏目：36

分类号：TN386.1(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61071043;中央高校基本科研业务费资助项目CDJRC 11200004,CDJXS10120012

在线出版日期：2013-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102