反应等离子体制备碳锥及其表征

摘要：

利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统,用CH4、H2和NH3为反应气体,分别在沉积有钛膜和碳膜的Si片衬底上制备了锥形碳结构,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线能谱仪(EDX)和显微Raman光谱仪对其形貌和结构进行了表征.SEM结果表明在沉积有碳膜的Si片衬底上易形成碳锥,EDX谱和Raman谱进一步表明形成的碳锥为碳氮结构,由sp3 C-N、sp2 C和sp2 C=N键形成.根据溅射机制和扩散机制,分析了碳锥的形成.同时,还对碳锥Raman谱的荧光背景进行了分析,结果表明由于氮的掺杂,使得碳锥由非极性的碳材料变成为极性碳材料.

关键词：反应等离子体、碳锥、拉曼光谱、溅射、扩散

所属期刊栏目：36

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：重庆市自然科学基金资助项目CSTC2009BA4027

在线出版日期：2013-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102