测量微球覆层厚度的X射线衍射法

摘要：

对采用X射线衍射测量微球覆层厚度的方法进行研究,首先在建立微球X射线衍射数学模型的基础上,利用1组已知厚度和X射线衍射线积分强度的标样,用计算机模拟求解的方法,得到微球衍射线积分强度和覆层厚度的关系.然后,在相同条件下进行待测试样的X射线衍射实验,将其衍射线积分强度代入求解模型得到的结果中就能得到待测试样的覆层厚度.实验结果表明,X射线衍射法是可行的,具有快速、方便、非破坏、不接触等特点.

关键词：微球、厚度测量、X射线衍射法、计算机模拟

所属期刊栏目：32

分类号：TG806(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：核燃料及材料国家重点实验室资助项目W05-11

在线出版日期：2009-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：177-180