光栅光阀MEMS光开关系统设计

摘要：

分析了光栅光阀(grating light valve, GLV)的光学特性,对GLV结构进行了计算机仿真.利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点,基于平行平板电容模型的GLV模拟算法,设计了光栅光阀1×2 MEMS(micro-electro-mechanical systems,微机电系统)光开关,经CoventorWare仿真表明,在1.55 μm光波长正入射及给定GLV参数时,所设计的光开关1级衍射效率达到50％,开关时间为微秒级,并具有耐磨损、时间快、寿命长等特点.

关键词：光栅光阀、MEMS、光开关、衍射效率、开关时间

所属期刊栏目：31

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：教育部博士学科点专项科研基金资助项目20060611031;重庆市自然科学基金资助项目CSTC2007BB2202

在线出版日期：2008-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：619-622