Wox-Ti薄膜的电致变色性能

摘要：

为了提高WOx薄膜的电致变色性能,笔者采用磁控反应溅射工艺,以纯钨和纯钛为靶材在ITO玻璃上制备Ti掺杂WOx电致变色薄膜,用薄膜的透射光谱和XRD衍射方法对掺杂后薄膜的电致变色性能和结构进行了分析,研究了Ti掺杂对WOx薄膜电致变色性能和微观结构的影响机理.实验表明:Ti掺杂不会降低WOx薄膜的致色效果,还能显著提高薄膜的循环寿命,缩短响应时间,提高记忆存储能力,XRD分析表明,掺杂Ti之后的WOx薄膜仍为非晶态,且非晶态有增强的趋势.

关键词：WOx-Ti薄膜、电致变色、掺杂、磁控溅射、循环寿命

所属期刊栏目：30

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：重庆市科委资助项目2000-6114

在线出版日期：2007-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102